1) Термин за поредица промишлени приложения на плазмата като: ецване на полупроводникови чипове, разпадане на силиций за производство на слънчеви батерии, разлагане на силициев двуокис (диоксид), пасивиране (създаване на защитен слой) на повърхности и др.
Scope note is not available.